T700型多路質(zhì)量流量校準(zhǔn)儀
主要性能特點(diǎn)流量測量精度:全量程的±1%;流量控制再現(xiàn)性:全量程的±0.2%;流量測量的線性:全量程的±0.5%;稀釋氣的流量范圍: 0-10 SLPM, 可選:0-20 SLPM,0-5 SLPM。臭氧發(fā)生器模塊 最大輸出:6 ppm L/min最小輸出:100 ppb L/min紫外光度計(選項(xiàng)) 滿量程范圍:100 ppb – 10ppm,用戶可調(diào) 精度:1.0 ppb
- 型號: T700
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